1.公布号：CN201054345
名 称：一种用于固晶机的晶圆推顶系统
摘 要：
本实用新型涉及一种用于固晶机的晶圆推顶系统，包括推顶针、推顶轴、基座、动力装置，推顶轴固定安装在基座上，推顶轴中空并且底部设孔，推顶针底部插在推顶轴底部孔中，推顶针顶部部分露在空中，动力装置连接基座。本晶圆推顶系统进一步包括吸附膜片装置和晶圆水平偏移装置。由于晶圆推顶系统能够将晶圆向上顶出，使晶圆与聚酯薄膜层脱离，使得晶圆容易被吸取，因此，大大提高了固晶机的工作效率和质量。
2.公布号：CN201054346
名 称：一种固晶机取晶固晶的机械结构
摘 要：
本实用新型涉及一种固晶机取晶固晶的机械结构，包括取晶臂、取晶臂转轴、吸嘴、取晶固晶装置、移晶装置，取晶臂一端固定连接吸嘴，吸嘴内部中空，取晶臂另一端与取晶臂转轴底端紧配合，取晶臂转轴顶端固定连接取晶臂升降装置和移晶装置，吸嘴连接取晶固晶装置。本实用新型机械结构进一步包括漏晶检测系统和取臂升降装置。本机械结构较之现有技术，大大提高了取晶固晶的效率，设置适当的参数，可获得很高的精度。 |
