公開(公告)號：CN201054345

專利名稱：一種用於固晶機的晶圓推頂系統

摘要：
 本實用新型涉及一種用於固晶機的晶圓推頂系統，包括推頂針、推頂軸、基座、動力裝置，推頂軸固定安裝在基座上，推頂軸中空並且底部設孔，推頂針底部插在推頂軸底部孔中，推頂針頂部部分露在空中，動力裝置連接基座。本晶圓推頂系統進一步包括吸附膜片裝置和晶圓水平偏移裝置。由於晶圓推頂系統能夠將晶圓向上頂出，使晶圓與聚酯薄膜層脫離，使得晶圓容易被吸取，因此，大大提高了固晶機的工作效率和質量。